程控觸屏勻膠機英文SPINCOATE或者SPINPROCESSOR,又稱甩膠機,勻膠臺,旋轉(zhuǎn)涂膜儀,旋涂儀。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
程控觸屏勻膠機的特點:
1.結(jié)構(gòu)緊湊,適合直接放于手套箱內(nèi)操作;
2.7寸全彩觸摸屏,高級PLC控制,設置一鍵啟動按鈕,操作方便;
3.可單步和多步勻膠操作;
4.工業(yè)級馬達,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),運行穩(wěn)定;
5.溶劑PC透明蓋;
6.真空泵與勻膠機同步工作,勻膠機旋轉(zhuǎn),真空泵就啟動,勻膠機停止,真空泵就停止;
7.設置有開機密碼功能,提高設備操作安全性;
8.左上面配有載物槽,(φ28深16)放藥水瓶更加方便。
9.機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、不生銹,便于清洗。
10.采用全色7英寸觸摸屏控制面板,直觀簡單更方便操作。
11.圖形顯示即時旋涂速度和時間,設置的參數(shù)旋涂過程一目了然。
12.內(nèi)置電腦控制,Windows操作界面,USB接口與打印機等外部設備連接(可選)。
13.不銹鋼腔體、聚四氟乙烯腔體(可選)。
14.自定義鍍膜程序、鍍膜步驟任意可變。40種鍍膜程序,每種程序可以設置40個步驟(可據(jù)用戶要求任意擴展)。